ESD 测试(ElectrostaticDischarge Test,静电放电测试),是指通过模拟实际环境中的静电放电事件,对半导体器件、组件或系统施加特定等级的静电脉冲,评估其抗静电干扰能力和耐受极限的试验。
其目的是:
模拟真实 ESD 场景:如人体接触放电(HBM)、机器设备放电(MM)、带电器件放电(CDM)等;
施加梯度静电电压:从低电压逐步升高,观察器件的响应;
判定失效阈值:记录器件出现 “显性损坏” 或 “隐性参数漂移” 时的最低静电电压,即为该器件的 ESD 耐受等级(如 HBM 2kV)。
ESD防静电检测模式
ESD 测试模式 :人体放电模型(HBM)、机器放电模型(MM)、器件充电模型(CDM),常用 HBM 和 CDM,MM 要求较少。
人体放电模式(HBM):模拟人体积累静电后接触电子元件时的放电过程
机器放电模式(MM):模拟机械装置(如工业机器人)积累静电后接触元件的放电
元件充电模式(CDM):模拟元器件自身带电后接触导体时的放电,如运输过程中摩擦积累的静电。
参考标准:
测试模型 | 模拟场景 | 核心标准 | 主要特点 |
HBM (人体模型) | 人体触摸放电 | ANSI/ESDA/JEDEC JS-001 | RC放电,能量中等,历史悠久 |
MM (机器模型) | 金属机器/工具放电 | ANSI/ESDA/JEDEC JS-002 | 电容直接放电,电流大,破坏性强 |
CDM (充器件模型) | 芯片自身放电 | ANSI/ESDA/JEDEC JS-002 (标准CDM) | 最常见,放电速度快,峰值电流极高 |
系统级ESD | 整机设备遭受外部静电 | IEC 61000-4-2 | 针对完整产品,测试其接口和外壳的抗扰度 |