成都检测中心拥有3D光学干涉仪、探针轮廓仪等超精密设备，能为企业提供表面粗糙度、纳米级别的微观尺寸、3D形貌分析、透明/半透明膜厚等测试，帮助企业解决一系列产品开发、生产过程中出现的各种异常状况。

3D光学干涉仪

Ø   测量模式：垂直干涉扫描(VSI)和相移干涉扫描(PSI)

Ø   测量范围：XY：150mm×150mm /Z：100mm

Ø   台阶高度精度：0.75%精度，1σ重复性0.1%

Ø   PSI重复性精度：＜0.02nm

Ø   垂直分辨率：0.08nm

接触式轮廓仪

Ø   測量範圍：Z軸（傳感器）為13 mm/50 arm，26 mm/100 arm，X軸為200 mm

Ø   精度：X軸精度/解析度:±（0.2+L/1000 μm ) / 0.54 nm;

Ø   Z軸精度/解析度:±（0.2+｜H｜/1000 μm ) / 0.31 nm(50 arm)